等离子体电源采用脉冲电源供电，放电极直接置于水中，放电使是该装置的关键设备，其性能和参数将直接决定反应器内等离子体的状态，从而影响水处理的效果。为了持续稳定地生成和维持低温等离子体，高压脉冲必须具有脉冲前沿陡峭、脉冲宽度窄的特点，以得到强电场并达到节能的目的。该装置采用空载峰值30kV、上升时间100ns，满载峰值25kV、30A、脉宽<300ns，脉冲频率1-10kHz可调的快脉冲电源。传统的脉冲电源多为利用火花隙作为开关产生脉冲，但是火花开关寿命较短，该电源采用新型电力电子开关器件代替火花隙，这样可以大大的提高开关的寿命以及电源工作的可靠性和稳定性。脉冲电源电路原理图如图1。脉冲电源原理为交流电经过变压器后输出1.5kV的交流电。经过电容CCC3和二极管DD2所组成的倍压电路后，成为3kV的直流电。达到3kV后给硅堆触发信号，开关（硅堆）被直流电击穿，从而在水间隙中产生等离子体。